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ASML, 광학 노광, 반도체, ASML Holding N.V., 네덜란드, 극자외선(EUV) 노광 장치 독점

Jobs 9 2021. 4. 10. 08:44
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ASML 홀딩 N.V.(영어: ASML Holding N.V.)은 반도체 제조용 광학 노광 공정 장치를 만드는 네덜란드 굴지의 다국적 기업이다. 극자외선(EUV) 노광 장치를 독점하는 기업으로 널리 알려졌다.

ASML에서 생산하는 광학 노광(영어: Photolithography 포토리소그라피) 공정 장비는 집적 회로의 패턴을 그릴 때 사용한다. 패턴은 광학적 이미징을 통해 감광 물질이 코팅된 실리콘 웨이퍼 위에 만들어진다(포토레지스트 영어: Photoresist 공법). 이러한 절차는 싱글 웨이퍼 위에 수십번 되풀이된다.

2010년 집계에 따르면 ASML의 반도체 리소그래피 공정 장치 점유율은 67%에 달하였다. 경쟁 업체로는 캐논, 니콘이 있으나 이들과 기술력 차이를 크게 벌렸으며, 특히 기술적 난점이 많은 EUV 노광 장치 개발 성공으로 최고의 반도체 제조 장치 업체로 꼽히던 어플라이드 머티어리얼즈의 시가총액을 추월하였다.





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